去年的一波半导体热潮,让光刻机成了香饽饽。
不过,依照ASML(阿斯麦)、尼康、佳能三家公司的官方数据整理得知,去年全球光刻机总销售量为413台。
。不过按照销售额来计算的话,因为最昂贵的EUV只有ASML制造销售,所以总的份额占比依次是91%、3%、6%。
从光刻机类型来看,尼康出货的主要是ArF immersion、ArF dry,佳能主要是KrF、i-line(份额69%)。当然,ASML在各种类型的光刻机上都有涉猎,除了i-line,几乎每种类型都是绝对龙头。
有分析机构表示,参考ASML单价,估计全球光刻机市场规模在2020年达到了130多亿美元,同比增长20%以上。