8 月 8 日消息，比利时微电子研究中心 imec 当地时间昨日宣布，在其与 ASML 合作的 High NA EUV 光刻实验室首次成功利用 High NA EUV 光刻机曝光了逻辑和 DRAM 的 … Continue reading imec 首次成功利用 ASML High NA EUV 光刻机实现逻辑、DRAM 结构图案化
imec 首次成功利用 ASML High NA EUV 光刻机实现逻辑、DRAM 结构图案化
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8 月 8 日消息，比利时微电子研究中心 imec 当地时间昨日宣布，在其与 ASML 合作的 High NA EUV 光刻实验室首次成功利用 High NA EUV 光刻机曝光了逻辑和 DRAM 的 … Continue reading imec 首次成功利用 ASML High NA EUV 光刻机实现逻辑、DRAM 结构图案化