标签： ArF光刻机

风君子博客3月27日消息，格科微电子微信公众号发布消息称，目前，格科微有限公司“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”推进迅速。厂房和洁净车间建设已经基本完成，并于2 … Continue reading 格科半导体成功引入ASML先进ArF光刻机