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电子束量测重大进展，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）正式交付国内客户

电子束量测重大进展，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）正式交付国内客户

4 月 1 日消息，据东方晶源发布，近日，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。 ...

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