标签： 透过率

　　据外媒消息，三星电子的极紫外（EUV）光刻技术取得了重大进展。近日，三星电子DS部门研究员Kang Young-seok详细介绍了该公司EUV技术的现状和未来。据CNMO了解，三星使用的EUV薄膜 … Continue reading 三星：EUV薄膜透射率已达90% 计划提高至94-96%