东京理科大学(TUS)学者日前在纳米压印技术研究上取得突破,实现了紫外硬化纳米压印(UV-NIL)创建 10 纳米以下分辨率形貌的突破。 UV-NIL 技术由于不需要高温高压条件,是一种备受瞩目的纳米 … Continue reading 媲美光学光刻,日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率
东京理科大学(TUS)学者日前在纳米压印技术研究上取得突破,实现了紫外硬化纳米压印(UV-NIL)创建 10 纳米以下分辨率形貌的突破。 UV-NIL 技术由于不需要高温高压条件,是一种备受瞩目的纳米 … Continue reading 媲美光学光刻,日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率