标签： 晶边刻蚀机

7 月 18 日消息，近日，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）正式发布应用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE，号称实现国产晶边干法 … Continue reading 北方华创发布首台国产 12 英寸晶边刻蚀机 Accura BE，可提高芯片良率