紫外超分辨光刻机可以在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。
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- 软件
- 2023-07-06
手机处理器，又叫系统级芯片，其英文名称是SoC（System-on-a-Chip），SoC是一个微小型系统，如果说中央处理器(CPU)是大脑，那么SoC就是包括大脑、心脏、眼睛和手的系统。
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- 运维
- 2023-05-19
集微网消息，上海集成电路材料研究院官网日前刊文，回顾了该院建院两年来取得的科研与产业化成果。
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- 业界
- 2022-08-14
7 月 16 日消息，据东方晶源发布，近日，东方晶源微电子科技（北京）有限公司（以下简称“东方晶源”）发布首款基于云端的 EDA 计算光刻平台 ——AeroHPO 全流程协同优化系统，成为国产 ED
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- 业界
- 2022-07-16
