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上海微系统所实现片上亚纳米量级的超灵敏位移传感

上海微系统所实现片上亚纳米量级的超灵敏位移传感

7 月 6 日消息 据中国科学院网站，近日，中国科学院上海微系统所等合作在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输特性实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。 ...

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