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上海微电子：中国首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机正式交付客户

2 月 7 日消息，2 月 7 日，上海微电子举行首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机正式交付客户。 获悉，去年 9 月 18 日，上 … Continue reading 上海微电子：中国首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机正式交付客户

上海微电子新型光刻机专利曝光，可提高光刻机的分辨率

近日上海微电子举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。目前，上微已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。 光学光刻是一种用光将掩模图案投影复制的技术，集成 … Continue reading 上海微电子新型光刻机专利曝光，可提高光刻机的分辨率

上海微电子推出新一代先进封装光刻机：首台将于年内交付

9 月 19 日消息 据上海微电子装备集团官方公众号，昨日，上海微电子举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。 ▲ 新一代先进封装光刻机，图源：上海微电子装备 … Continue reading 上海微电子推出新一代先进封装光刻机：首台将于年内交付

上海微电子披露：2021-2022 年交付第一台 28nm 工艺国产沉浸式光刻机

IT之家 6 月 10 日消息  界面新闻报道，近期，上海微电子装备 (集团)股份有限公司披露，将在 2021-2022 年交付第一台 28nm 工艺的国产沉浸式光刻机。国产光刻机将从此前的 … Continue reading 上海微电子披露：2021-2022 年交付第一台 28nm 工艺国产沉浸式光刻机

上海微电子28nm光刻机明年交付！意义何在？

　　在经历了中兴事件之后，深深让国人感受到了中国在半导体芯片领域的薄弱，而此次美国升级对华为的制裁，更是让国人认识到了中国在芯片制造设备领域的薄弱。而对于芯片制造来说，最为关键的设备当属光刻机。 　　 … Continue reading 上海微电子28nm光刻机明年交付！意义何在？