7 月 1 日消息，据台媒《工商时报》报道，台积电将在 2024~2025 年接收超 60 台 EUV 光刻机，而其今明两年在 EUV 光刻机上的投入将超 4000 亿新台币（备注：当前约 896.61 亿元人民币）。
报道表示，ASML 的 EUV 光刻机目前供应紧张，从下单到交付的整体周期已达 16~20 个月。
台积电今明两年将分别下达约 30 和 35 台的 EUV 光刻机订单，这些订单中的大部分将从 2026 年开始交付。
台媒援引供应链消息指出，ASML 对 2025 年产能的规划是 20 台 High-NA EUV 光刻机、90 台 EUV 光刻机和 600 台 DUV 光刻机。
根据台积电官方路线图，其目前已规划的最先进工艺 16A 将于 2026 年量产，仍采用传统 0.33NA EUV 光刻机。换句话说，台积电暂未考虑在量产制程中导入 High-NA。
虽然 ASML 方面已确认将在 2024 年内向台积电交付 High-NA EUV 光刻机，但这一机台仅用于制程开发目的。
台媒也表示，台积电暂无在 2025~2026 年引入量产用 High-NA EUV 光刻机的规划。